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发表多功能晶圆量大奖88
编辑:管理员 浏览: 日期:2018-03-03
网页版重点:
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2、奈米深度3D检测
3、表面形貌/粗糙度分析
4、非透明材质/透明材质形貌分析
5、1μm透明膜厚度量测
6、多层膜厚度量测
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解决方案与优点:
1、操作流程简易,降低教育训练成本
2、人工放置待测物,机台自动化跑位、量测与报表输出
3、多孔陶瓷吸盘完整吸附待测物
4、花岗岩底座搭配汽浮式防震桌,有效隔离高频振动,将机身振动影像降至最低
5、高精度移动马达
6、针对无尘室环境设计的防尘外罩
7、连线管理SECS/GEM(选配)
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